Titre :	Mecanisme de passivation du phosphore par l'hydrogene par la methode C-V dans les diodes schottky soumises aux plasmas d'hydrogenation MW-ECR
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Mohamed Hameni ; Djamel Madi, Directeur de thèse ; uamob.fssa., Editeur scientifique
Importance :	90p.
Format :	27cm.
Note générale :	bib.+cd.
Langues :	Français (fre)
Mots-clés :	Silicium  les plasmas PH.
Permalink :	./index.php?lvl=notice_display&id=20194

Mecanisme de passivation du phosphore par l'hydrogene par la methode C-V dans les diodes schottky soumises aux plasmas d'hydrogenation MW-ECR [texte imprimé] / Mohamed Hameni ; Djamel Madi, Directeur de thèse ; uamob.fssa., Editeur scientifique . - [s.d.] . - 90p. ; 27cm.
bib.+cd.
Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Silicium  les plasmas PH.
Permalink :	./index.php?lvl=notice_display&id=20194